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RTP霎时退火炉

通告时间:2017-11-15  浏览次数:3374

 


设施简介:

  霎时退火炉简称 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace),不但拥有非常快之升温速率,而且在重组工艺运行完结后,直接将试样移动至室温下,贯彻物理状态下的高速降温。设施采用了内管进气、外管出气的气路结构,有效反应气氛与加工样品充分而均匀地接触。退火炉是CVD法生长大尺寸二维石墨烯的选用设备。测温元件直接和形式接触,合同试样温度的准确性。




 

 

 

 

 



安排详情

1. 双层钢结构;

2. 高密度Al2O3小小的耐火保温材料,最大节约资源;

3. 耐火陶瓷上的高密度氧化铝涂层可延长使用寿命;

4. 氧化铝管塞可帮助您在管内建立自定义的温度梯度;

5. 该设备是国家专利保护金沙平台登录,专利号:CN201310005931.6。

金沙平台登录型号

NBD-HR1200-110IT

油气规格

AC380V   15KW

高高的温度

1100 ℃(长时间使用必须外接水冷装置)

此起彼伏温度

1000 ℃ (此起彼伏使用必须外接水冷装置)

高高的加热速率

提议≤  100 ℃/S

加热区长度

200mm

炉管尺寸

Φ80*120mm

控制系统

 

1.可预存15条温度曲线,避免不同之试验工艺重复设置带来的难为;

2.试验过程更加直观,借鉴更加便利;

3.可另选配无线控制模块,贯彻远程操控;

4.具有超温报警、断偶提示、漏电保护等效果。

温度精度

+/- 1 ℃

加热元件

 

红外灯管加热

密封系统

 

 

 

真空度:≤5Pa(机械泵)

压力测量与监督

 

运用数显真空计,可使设备炉管内之空间度显示更加直观,试验结果更加准确。

90KG

设施使用注意事项

1. 设施炉膛温度≥300℃时,移步炉膛后,取缔触碰原炉膛所在位置的石英管,避免受到伤害;

2. 设施使用时,炉管内压力不得超过0.125MPa(绝对压力),以防止压力过大造成设备损坏;

3. 高真空下利用时(10的负3先后方Pa),设施使用温度不得超过800℃。

劳务支持

1年质保,提供终身支持(保修范围内不包括易耗部件,例如炉管和O形圈等) 


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